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依托半导体高端设备研制，通过半导体高端设备、真空技术两个板块，建立电子装备的产业化经营格局
主要应用于新型材料的升华提纯、电子陶瓷产品的预烧结、退火等领域，也可作为CVD镀膜设备使用，可以外置等离子体发生装置。
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应用范围：
主要应用于新型材料的升华提纯、电子陶瓷产品的预烧结、退火等领域，也可作为CVD镀膜设备使用，可以外置等离子体发生装置。
产品特点：
■ 全自动控制，设备密封性可靠；
■ 温控精度高，取放样品方便；
■ 可外置等离子体发生器，用途广泛。
