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依托半导体高端设备研制，通过半导体高端设备、真空技术两个板块，建立电子装备的产业化经营格局
ALD原子层沉积设备主要应用于集成电路、微电子、量子点、新能源等产业。
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应用范围：
ALD原子层沉积设备主要应用于集成电路、微电子、量子点、新能源等产业。
产品特点：
■ 采用全自动操作系统，操作简单；
■ 可控制膜层厚度，解决整体均匀性；
■ 针对不规则样品，同样拥有很好的包裹性。
