晶体生长设备

• SIC单晶炉
• 高压VGF单晶炉
• VTM单晶炉
• 多晶炉
• 单管扩散炉
• 立式扩散炉

真空设备

• ALD原子层沉积设备
• 磁控溅射镀膜系统
• 大面积磁控溅射系统
• 磁控溅射卷绕镀膜系统
• 电阻蒸发镀膜机
• 有机蒸发手套箱镀膜系统

全自动湿法清洗设备

• 槽式湿法清洗设备

辅助设备

• 立式甩干机
• 清洗台
• 封焊炉
• 手套箱