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依托半导体高端设备研制，通过半导体高端设备、真空技术两个板块，建立电子装备的产业化经营格局
主要应用于GaAs、CdTe等化合物材料的多晶合成设备
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产品特点：
■ 十年炉体生产工艺经验，寿命长、温场稳定。
■ 高低温炉体独立可控，保证了合成过程中的安全稳定。
■ 顶部水冷系统及精准的工艺流程控制，提升工艺保障力。
应用范围：
多晶合成设备及工艺技术也是前道生产线中最为核心关键的，甚至会影响单晶生长的品质。多晶合成炉主要用于GaAs、CdTe等多种化合物材料的多晶合成工艺。
