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依托半导体高端设备研制,通过半导体高端设备、真空技术两个板块,建立电子装备的产业化经营格局
  •  真空镀碳炉

真空镀碳炉

主要应用在半导体晶体材料的生长工艺过程中,对石英坩埚内壁镀碳处理,能够有效阻隔高温溶体与石英坩埚的反应,有利于完整、高质量单晶体的生产。


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应用范围:

主要应用在半导体晶体材料的生长工艺过程中,对石英坩埚内壁镀碳处理,能够有效阻隔高温溶体与石英坩埚的反应,有利于完整、高质量单晶体的生产。


产品特点:

■  全自动控制,多段温区加热;

■  温控精度高、成膜均匀性好;

■  适用于多种规格安瓿。