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依托半导体高端设备研制,通过半导体高端设备、真空技术两个板块,建立电子装备的产业化经营格局
主要应用于碳化硅、氮化铝单晶生长,6、8英寸SIC晶体生长
主要应用于半导体磷化铟、磷化镓等材料的单晶生长。是制造II-VI族和III-V族化合物半导体材料的关键设备
主要应用于碲锌镉、碲化镉、锑化铟等多种化合物半导体材料的单晶生长
主要应用于GaAs、CdTe等化合物材料的多晶合成设备
主要应用于高温扩散、氧化、退火等工艺
主要应用于高温扩散、氧化、退火等工艺
全新立式退火炉研发投入中,敬请期待!