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依托半导体高端设备研制,通过半导体高端设备、真空技术两个板块,建立电子装备的产业化经营格局
ALD原子层沉积设备主要应用于集成电路、微电子、量子点、新能源等产业。
磁控溅射镀膜系统广泛应用于消费电子、芯片制程、光伏等众多领域,可制备金属膜、绝缘薄膜、光学薄膜、磁性薄膜等等。
主要用于光伏行业、功能玻璃及显示行业。
主要用于消费电子、功能薄膜、光伏等产业。
主要应用于高校、科研院所的教学、科研实验以及生产型企业前期探索性实验及开发新产品等。可用来制备金属膜、有机膜及扫描电镜制样等。
主要应用于钙钛矿太阳能电池、OLED、锂电池、金属电极薄膜等产业研发的专用设备,广泛应用于高校、科研院所的不同材料薄膜制备研究,也可用于生产线前期工艺试验等。
主要应用于新型材料的升华提纯、电子陶瓷产品的预烧结、退火等领域,也可作为CVD镀膜设备使用,可以外置等离子体发生装置。
主要应用在半导体晶体材料的生长工艺过程中,对石英坩埚内壁镀碳处理,能够有效阻隔高温溶体与石英坩埚的反应,有利于完整、高质量单晶体的生产。