电子装备产业

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依托半导体高端设备研制，通过半导体高端设备、真空技术两个板块，建立电子装备的产业化经营格局

VTM单晶炉

主要应用于碲锌镉、碲化镉、锑化铟等多种化合物半导体材料的单晶生长

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VTM单晶炉是依据我公司自主研发的VTM工艺方法所设计的新型单晶工艺设备, 设备由加热系统、运动系统支撑机构、电控系统四部分组成，适用碲锌镉、碲化镉、锑化镓等多种化合物半导材料的单晶生长。

VTM单晶炉设备特点

■ 晶体生长界面引入磁力控制,稳定晶体生长方向，提高了单晶成品率;

■ 整机的机械运动及加热系统采用PC控制，菜单数据可输入,历史数据可查询，具有声、光报警，生产重复性高;

■ 加热系统分主加热装置和辅助加热装置。主加热控制整体温度。辅助加热可移动。实现局部加热的高精度，加强了温场的可控性;

■ 运动系统采用一键式控制。既满足装炉时的快速升降，又可以精确控制晶体生长时炉体的缓慢行程速度,大大提高生产效率;

■ 支撑机构采用分体式设计,保障稳定性同时有效阻隔了震动，提高单晶生长的质量及成品率;

■ 采用刚性传动机构，传动效率高，稳定性强。

技术参数