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依托半导体高端设备研制，通过半导体高端设备、真空技术两个板块，建立电子装备的产业化经营格局
磁控溅射镀膜系统广泛应用于消费电子、芯片制程、光伏等众多领域，可制备金属膜、绝缘薄膜、光学薄膜、磁性薄膜等等。
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应用范围：
磁控溅射镀膜系统广泛应用于消费电子、芯片制程、光伏等众多领域，可制备金属膜、绝缘薄膜、光学薄膜、磁性薄膜等等。
产品特点：
■ 整机一体化设计，结构紧凑；
■ 公司独立开发的工艺控制系统，全自动化控制，轻松实现一键完成；
■ 本品可多靶共焦溅射，适合研发及小批量生产。
